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第254章 第一枚芯片(2 / 2)

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掩模版是许志远亲手设计并刻蚀的,图案是一个简单的逻辑电路——这是他为第一片芯片设计的基础模板。光束穿过掩模版后,被精准投影到涂有光刻胶的硅片表面。

硅片被固定在步进扫描平台上,而平台以纳米级的精确度缓缓移动,将整个图案逐步曝光在硅片表面。

“光学投影系统运行正常,误差小于0.8微米。”系统的冷静提示音在小世界中回荡。

许志远盯着屏幕上的参数,嘴角微微上扬。这台光刻机的性能已经超出了他的预期。

光刻工艺的第一步是将电路图案通过曝光转移到硅片上。许志远从小世界的材料库中取出一片原始硅片,将其涂上一层均匀的光刻胶,放在光刻机的步进扫描平台上。

“曝光完成,下一步进行显影。”系统提示音响起。

许志远将曝光后的硅片取下,小心翼翼地放入显影槽中。显影液是他根据配方自行调配的,能够将光刻胶中被曝光的部分溶解,留下未曝光的部分作为掩膜。

显影完成后,一块布满精细电路图案的硅片呈现在他面前。许志远仔细检查了硅片表面,确认图案清晰且没有明显的缺陷。

“接下来是刻蚀。”他低声自语,随即将硅片放入等离子刻蚀机中。

刻蚀工艺是光刻机之后的关键步骤,通过化学反应将硅片表面未被掩膜保护的部分去除,形成真正的电路结构。这一步需要极高的精确度,否则会导致整个芯片报废。

等离子刻蚀机运转时,发出轻微的嗡鸣声。许志远盯着屏幕上的实时数据,手指不时在控制面板上调整参数。几分钟后,刻蚀完成,硅片被取出。

“刻蚀完成,表面结构清晰,电路完整。”系统再次给出了正面反馈。

接下来是掩膜的去除和金属化工艺。许志远将硅片放入化学槽中去除光刻胶,然后通过金属沉积技术为电路铺设导电层。经过一系列复杂的工艺之后,第一片芯片终于完成。

许志远小心翼翼地将芯片装载到测试平台上,连接好电源和测试设备。

他设计的这片芯片是一个简单的逻辑电路,用于验证光刻机的精度和工艺的完整性。如果这片芯片能够正常运行,就意味着他的光刻机完全达标。

“系统,启动测试程序。”许志远屏住呼吸,目不转睛地盯着屏幕。

测试仪器开始工作,芯片的电路被逐一检测,测试数据实时显示在屏幕上。

“输入信号正常……输出信号正常……逻辑运算正确……功耗符合预期……”系统的提示音一项接一项地响起。

终于,屏幕上出现了一行大字:

“芯片功能测试通过!”

许志远整个人僵住了,随即长长地吐出一口气,脸上露出了掩饰不住的笑容。他握紧拳头,忍不住低声喊了一句:“成了!真的成了!”

他激动地站起来,绕着光刻机转了一圈,双手撑在机器上,脸上写满了激动和满足。最近转码严重,让我们更有动力,更新更快,麻烦你动动小手退出阅读模式。谢谢

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